%0 Journal Article
%T 衬底温度对机械瓣膜上沉积的类金刚石薄膜的影响
%A 罗乐
%A 蒋大鹏
%A 赵读亮
%A 严中亚
%A 程光存
%A 方晓东
%J 量子电子学报
%P 498-502
%D 2015
%X 为掌握机械瓣膜衬底温度对类金刚石薄膜的影响规律，在实验中保持其它实验参数不变，机械瓣膜衬底温度分别取室温和150℃时，用脉冲激光沉积法在机械瓣膜上制备类金刚石薄膜。用Raman光谱仪对薄膜的微观结构进行检测；用原子力显微镜对薄膜的表面形貌和粗糙度进行检测。结果表明当其它实验参数不变时，机械瓣膜衬底温度从室温升高到150℃时，薄膜的微观结构没有发生明显改变；薄膜表面的粗糙度减小。类金刚石薄膜和机械瓣膜衬底之间具有很好的黏附性。
%K 材料
%K 类金刚石薄膜
%K 脉冲激光沉积法
%K 衬底温度
%K 微观结构
%K 表面形貌
%U http://lk.hfcas.ac.cn/CN/abstract/abstract9129.shtml