%0 Journal Article
%T 汽相沉积薄膜过程的计算机模拟
%A 林玉枝
%J 福州大学学报(自然科学版)
%D 1996
%X 利用计算机模拟给出汽相沉积薄膜的过程，计算出不同模型下的薄膜微观结构，并对薄膜微观结构特征进行了讨论
%K 汽相沉积
%K 薄膜
%K 计算机模拟
%U http://xbzrb.fzu.edu.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=199605111&flag=1