%0 Journal Article
%T Crecimiento de pel赤culas delgadas de nitruro de carbono por deposicion con l芍ser pulsado.
%A Henry Riascos
%A Lina Maria Franco
%A Jaime Andres Perez
%J Scientia Et Technica
%D 2007
%I Universidad Tecnol車gica de Pereira
%X Hemos crecido pel赤culas delgadas de nitruro de carbono (CNx) mediante el Deposici車n por L芍ser Pulsado (DLP), usando como blanco grafito de alta pureza y como substrato silicio. Las pel赤culas fueron crecidas en un ambiente de gas de nitr車geno, variando la presi車n del gas, para dos valores de la fluencia del l芍ser y dos valores de la temperatura del substrato. Estas pel赤culas fueron caracterizadas por Microscopia de Fuerza At車mica (AFM) y espectroscopia Raman. La rugosidad de las pel赤culas depende tanto de la presi車n del gas de trabajo como de la temperatura del substrato, sus estructuras son amorfas presentando los picos D y G, t赤picos de las estructuras tipo fulereno.
%U http://www.redalyc.org/articulo.oa?id=84903624