%0 Journal Article %T Calentador de sustratos compacto y de bajo costo para tratamiento t¨¦rmico in situ de pel¨ªculas delgadas depositadas por rf-sputtering %A A. M¨¢rquez-Herrera %A E. Hern¨¢ndez-Rodr¨ªguez %A M.P. Cruz-J¨¢uregui %A M. Zapata-Torres %J Revista mexicana de f¨ªsica %D 2010 %I Sociedad Mexicana de F¨ªsica %X En este trabajo se presenta el dise o y construcci¨®n de un calentador de sustratos de bajo costo, el cual es capaz de operar en sistemas de alto vac¨ªo. Su utilizaci¨®n se centra en proporcionar tratamiento t¨¦rmico in-situ durante el crecimiento de pel¨ªculas delgadas bajo condiciones de presi¨®n controlada y atm¨®sfera corrosiva. El calentador fue construido principalmente de acero inoxidable, cer¨¢mica y una resistencia comercial de khantal-A1. El cuerpo del horno es enfriado usando un sistema de aletas y l¨ªquido refrigerante, el cual se encuentra completamente aislado de la c¨¢mara de dep¨®sito. El dise o del calentador tambi¨¦n incorpora un sistema de rotaci¨®n que permite que el sustrato gire durante el proceso de crecimiento proporcionando uniformidad a la pel¨ªcula. La temperatura del sustrato es monitoreada mediante un termopar tipo "K" que retroalimenta a un controlador de temperatura, el cual modula una fuente de poder variable que suministra el voltaje a la resistencia. Con el prop¨®sito de evaluar la funcionalidad del sistema de calentamiento, ¨¦ste se mont¨® en un equipo de rf-sputtering y se crecieron pel¨ªculas delgadas de BaTiO3 con distintas temperaturas de sustrato en una geometr¨ªa off-axis. El sistema de tratamientos t¨¦rmicos in-situ es capaz de proveer una temperatura uniforme al sustrato as¨ª como de operar por largos periodos de tiempos. %U http://www.redalyc.org/articulo.oa?id=57016003013