%0 Journal Article
%T Efecto de la temperatura de substrato en las propiedades estructurales, ¨®pticas y ferroel¨®ctricas de pel¨ªculas delgadas de BaTiO3 depositadas por RF sputtering
%A A. M¨¢rquez-Herrera
%A E. Hern¨¢ndez-Rodr¨ªguez
%A O. Calzadilla-Amaya
%A M. Mel¨¦ndez-Lira
%J Revista mexicana de f¨ªsica
%D 2012
%I Sociedad Mexicana de F¨ªsica
%X Se crecieron pel¨ªculas delgadas de Titanato de Bario (BaTiO3) sobre substratos de cuarzo y nicromel, utilizando un blanco de BaTiO3 mediante la t¨¦cnica erosi¨®n cat¨®dica por radiofrecuencia. Variamos la temperatura de substrato con el fin de determinar su efecto sobre las propiedades estructurales, ¨®pticas y ferroel¨¦ctricas de las muestras. Los resultados de la difracci¨®n de Rayos-X indicaron que las muestras tuvieron una estructura tetragonal, aumentando su cristalinidad conforme se aument¨® la temperatura de substrato. El ancho de banda prohibida disminuyo con el aumento en la temperatura de substrato, mostrando un decremento abrupto a 494.8¡ÀC. Las propiedades ferroel¨¦ctricas de las pel¨ªculas mostraron una dependencia con la temperatura de substrato, obteni¨¦ndose la mejor respuesta a 494.8¡ÀC.
%U http://www.redalyc.org/articulo.oa?id=57023376004