%0 Journal Article
%T 用红外热成像系统测量薄膜厚度的方法
%A 高
%J 红外
%D 2006
%I 
%X 薄膜涂层通常是用来保护表面或增强表面功能的。为了提高涂层的经济效益,涂层的厚度有变小的趋势。随着厚度的变薄,涂层厚度的均匀性就变得越来越重要了,因此就需要对涂层进行测量。
%K 薄膜厚度
%K 系统测量
%K 红外热成像
%K 薄膜涂层
%K 表面功能
%K 经济效益
%K 涂层厚度
%K 均匀性
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=3723000AE493FCE650601982177048B1&aid=75814CE9FBE7C02E77D62CD229DC69C5&yid=37904DC365DD7266&vid=DB817633AA4F79B9&iid=F3090AE9B60B7ED1&sid=D3E34374A0D77D7F&eid=D3E34374A0D77D7F&journal_id=1672-8785&journal_name=红外&referenced_num=0&reference_num=0