%0 Journal Article
%T Effects of seed layer on the performance of microcrystalline silicon germanium solar cells<br>种子层对微晶硅锗太阳电池的影响
%A Cao Yu
%A Zhang Jianjun
%A Li Tianwei
%A Huang Zhenhu
%A Ma Jun
%A Yang Xu
%A Ni Jian
%A Geng Xinhua
%A Zhao Ying
%A <br>曹宇
%A 张建军
%A 李天微
%A 黄振华
%A 马峻
%A 杨旭
%A 倪牮
%A 耿新华
%A 赵颖
%J 半导体学报
%D 2013
%I 
%X 采用射频等离子体增强化学气相沉积技术，沉积一层种子层作为生长微晶硅锗本征层的起始层。研究了不同种子层对微晶硅锗本征层结构和对微晶硅锗太阳电池性能的影响。结果表明，将种子层应用到微晶硅锗电池中，可以显著提高电池的短路电流密度和填充因子，使微晶硅锗电池即使在本征层锗含量为30%的情况下，同样可以获得与微晶硅电池一样的短波响应。最后，经过优化制备出了初始效率为7.05%的微晶硅锗单结太阳电池。
%K hydrogenated microcrystalline silicon germanium
%K seed layer
%K incubation layer
%K solar cell<br>微晶硅锗
%K 种子层
%K 孵化层
%K 太阳电池
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=4D6BB6A422263A457CD717A80123F9AC&yid=FF7AA908D58E97FA&vid=339D79302DF62549&iid=38B194292C032A66&sid=534D38A225B791FB&eid=94C357A881DFC066&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=23