%0 Journal Article %T 带尾纤的全光型硅微谐振器 %A 丁纯 %A 王跃林 %A 喻浩 %A 王亚强 %A 徐义刚 %J 半导体学报 %D 1999 %I %X 带尾纤的全光型硅微谐振器引入了集成光学技术,具有独立的拾振光路和简单易行的拾振方式,可以完全脱离光学平台运作.对带尾纤的全光型硅微谐振器进行了实验测量及较详细的理论分析,给出了悬臂梁振子的固有谐振频率、谐振频率的总温度系数、悬臂梁对简谐激励的响应等表达式;归纳出了该谐振器具有光纤与振子间未对准误差容限较大,输出测量信号与光纤有效光学长度无关及振子谐振频率不受硅片内应力影响等特点. %K 全光型 %K 硅微谐振器 %K 集成光学 %K 带尾纤 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=315F43D45428DFFF&yid=B914830F5B1D1078&vid=A04140E723CB732E&iid=0B39A22176CE99FB&sid=1F199509C0B6C4D6&eid=03A030BB0C519C60&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=9