%0 Journal Article
%T Silicon surface microstructures created by 1064 nm Nd: YAG nanosecond laser<br>1064nm纳秒脉冲激光诱导硅表面微结构研究
%A Yang Hong-Dao
%A Li Xiao-Hong
%A Li Guo-Qiang
%A Yuan Chun-Hua
%A Tang Duo-Chang
%A Xu Qin
%A Qiu Rong
%A Wang Jun-Bo
%A <br>杨宏道
%A 李晓红
%A 李国强
%A 袁春华
%A 唐多昌
%A 徐琴
%A 邱荣
%A 王俊波
%J 物理学报
%D 2011
%I 
%X 利用Nd:YAG纳秒激光(波长为1064nm)在不同气氛(空气、N2,真空)中对单晶硅进行累积脉冲辐照,研究了表面微结构的演化情况.在激光辐照的初始阶段,与532和355nm纳秒脉冲激光在硅表面诱导出波纹结构不同,1064nm脉冲激光诱导出了微孔结构和折断线结构,并且硅的晶面取向不同,相应的折断线结构也不同.对于Si(111)面,两条折线交角为120°或60°,形成网状;而对于Si(100)面,两条折断线正交,从而将表面分成了15—20μm的矩形块.结果表明,微孔结构的生长过程主要与相爆炸有关,而折断线的形成主要是热应力作用的结果.不同气氛对微结构形成的影响表明,刻蚀率和生长率与微结构的形成有密切的关系.
%K nanosecond laser
%K microstructure of silicon
%K phase explosion
%K thermal stress<br>纳秒激光
%K 硅的微结构
%K 相爆炸
%K 热应力
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=DAB46400EA0BD17FE7361336A76D92E0&yid=9377ED8094509821&vid=BFE7933E5EEA150D&iid=0B39A22176CE99FB&sid=22A41D6A93894E76&eid=22A41D6A93894E76&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=27