oalib

Publish in OALib Journal

ISSN: 2333-9721

APC: Only $99

Submit

Any time

2019 ( 108 )

2018 ( 2287 )

2017 ( 2313 )

2016 ( 2407 )

Custom range...

Search Results: 1 - 10 of 95597 matches for " 赵慕愚 "
All listed articles are free for downloading (OA Articles)
Page 1 /95597
Display every page Item
相图中紧邻相区及其共同相边界的对应关系

硅酸盐学报 , 1981,
Abstract:
低压硅外延生长的热力学研究
徐宝琨,
半导体学报 , 1982,
Abstract: 本文对SiCl_4氢还原的复杂化学反应体系的平衡状态作了计算.给出体系在低压(P=0.1大气压、P=0.01大气压)和常压(P=1大气压),温度T从900K至1500K,及不同初始成分条件下的平衡成分图、产率图、外延生长控制参数的阈值图,并提出了有关改进低压硅外延工艺的参考性意见.
SiCl_4外延生长硅晶体中碳沾污的热力学分析
徐宝琨,
半导体学报 , 1984,
Abstract: 本文采用热力学计算方法对引起SiCl_4外延生长硅晶体中碳沾污的三个来源作了较详细的分析.所得结果对外延硅中SiC沾污问题的认识,外延工艺和H_1、SiCl_4原材料制备及提纯工艺的改进将有一定的参考意义.
多晶硅中碳化物及其来源的研究
万群,李玉珍,徐宝琨,
半导体学报 , 1984,
Abstract: 本文用电子探针等手段分析了多晶硅中的碳化物.结果表明:采用不同工艺制备的多晶硅中都含有SiC微颗粒,它们在多晶硅棒中呈随机分布,最大面密度达10~3个/cm~2,颗粒尺寸最大可达70μm,元素分析结果表明其组成符合SiC的计量比.根据国内常用的制备多晶硅的方法,从理论上分析了SiC沾污的原因,并讨论了减少这种沾污的可能途径.
Cd-Sn-Zn三元系高压等温截面图的计算
宋利珠,吴风清,
高压物理学报 , 1991, DOI: 10.11858/gywlxb.1991.03.005
Abstract: 本文根据相图的边界理论和平衡体系中诸组元在各相中化学势相等的原理,计算了Cd-Sn-Zn三元共晶系的高压水平截面图。依据所得结果绘制出该三元系在一定温度下(500K)不同压强时的固液平衡水平截面图,并绘制出液相面投影图。计算过程中对各组元的偏摩尔体积虽作了一些近似,但计算结果仍与文献值符合。从计算结果可知,对于该三元系来说,压强增加使体系液相区变窄。
SiCl_4-SiH_4-H_2混合源的硅外延生长
汤广平,刘明登,全宝富,
半导体学报 , 1986,
Abstract: 本文探讨了SiCl_4/SiH_4/H_2混合源常压和低压硅外延生长技术.实验结果表明,混合源兼有SiCl_4和SiH_4两者的优点,并在一定比例下具有SiH_2Cl_2源的特性.它能降低外延生长温度、调节淀积速率,改善淀积的均匀性和抑制自掺杂效应.因此它可适应多种器件的要求.
热解CVD方法制备氧化铍薄膜的研究
徐宝琨,杨弘,卢致玉,岳万刚,王子忱,
半导体学报 , 1992,
Abstract: 本文用碱式甲酸铍为源,在源区温度250—330℃,沉积区温度440—650℃的条件下,利用热解CVD方法制得了BeO薄膜,并对BeO 薄膜的物理和化学性能做了测量和试验.
Cd-Sn(0.2)-Zn三元合金高压相图的测定
宋利珠,杨桦,,沈中毅,刘勇
高压物理学报 , 1992, DOI: 10.11858/gywlxb.1992.02.008
Abstract: 为了验证三元合金高压相图的计算结果,本文采用高压DTA方法,测定了Cd-Sn-Zn三元系中xSn=20at.%截面的高压垂直截面相图,实验压力为0、0.5、1.0、1.5GPa。测得的常压相图(p=0GPa)中其液相线与H.J.Bray的实验结果完全相符,所得高压相图与常压相图比较,在p=1.5GPa时低共晶点上移了大约35K,共析组成向富锌端移动了大约8%。
Cd(0.2)-Sn-Zn三元合金高压垂直截面相图的测定
宋利珠,杨桦,,沈中毅,刘勇
高压物理学报 , 1993, DOI: 10.11858/gywlxb.1993.03.009
Abstract: 采用高压DTA方法,测定了Cd-Sn-Zn三元系中xCd=20at.%截面的高压垂直截面相图,实验压力为0,0.5,1.0,1.5GPa。所得高压相图与常压相图比较,在p=1.5GPa时低共晶点上移了大约35K,共析组成在加压过程中几乎不变。这种变化趋势与理论计算的结果相图,所得高压相图的液相线与计算相图的一致。
掺杂元素对铝-硅共晶合金凝固过程的影响
王子忱,王晓慧,张丽华,
物理化学学报 , 1992,
Abstract:
Page 1 /95597
Display every page Item


Home
Copyright © 2008-2017 Open Access Library. All rights reserved.