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钨的化学机械抛光过程中TiN-W电偶的腐蚀行为(英文)

电化学 , 2001,
Abstract: 化学机械抛光(CMP)技术是同时利用化学和机械作用来获得固体表面亚微米尺度上平整性非常有效的方法,从90年代初期起已成为制备高质量镜头和镜面及集成电路制造过程中硅片表面预处理工艺中最常用的技术之一.钨的化学机械抛光是用钨坯获得硅片球面平整度的重要工艺.其过程实际上是先将钨沉积到硅上已有的薄粘附层-氮化钛上,然后进行化学机械抛光.当抛光阶段接近终了时,氮化钛和钨表面将同时暴露在化学抛光液中形成电偶对,并在界面上发生腐蚀行为,从而影响硅片的球面平整度,降低半导体器件的性能与可靠性.本文通过采用电化学直流极化技术,分别获得钨与氮化钛在0.01mol/LKNO3溶液中或含有三种典型的研磨剂(H2O2,KIO3,Fe(NO3)3)溶液中的极化曲线,同时设计了一种特殊的电解槽以测量钨和氮化钛之间相互作用的电流,初步研究了patterned硅片上钨和氮化钛界面形成电偶对时的腐蚀行为.根据所测的钨和氮化钛电位可知,当钨和氮化钛表面同时暴露在抛光液中时将形成电偶对,氮化钛成为阴极,钨为阳极,并于界面发生电化学反应,表面的不均匀腐蚀将造成硅片平整度的降低.结果表明,当溶液中含有H2O2时钨和氮化钛界面的腐蚀速度最大,而当溶液中含有Fe(NO3)3时的钨和氮化钛界面则几乎不发
PEMFC商用催化剂电催化活性和寿命研究(英文)

电化学 , 2004,
Abstract:  采用自设计的特制H形电解槽模拟单个氢空气质子交换膜燃料电池运作,并以电化学方法、SEM及XRD等技术研究两种商用催化剂,即碳载铂(Pt/C)和纯铂钌(PtRu)的电催化活性、表面形貌及其结构和寿命.同时对比了两种催化剂分别放在H形电解槽和常规电解槽中运行情况的测试结果.实验表明,经过H形电解槽运行后的催化剂,其循环伏安曲线表征氢吸脱的特征峰分别发生了正偏移(Pt/C电极)和负偏移(PtRu电极),且对应的峰电流呈现减小的趋势(特别是Pt/C电极).一氧化碳的毒化造成纯铂钌的电催化活性显著下降,其影响是不可逆的.
预处理对多孔硅形成过程的影响(英文)
,罗广丰
电化学 , 2002,
Abstract: 本工作初步探讨了开路电位下对硅片进行预处理时多孔硅的形成过程.电化学极化实验、扫描电镜和拉曼谱学的研究表明,预处理可以加速硅/溶液界面上的化学或电化学反应,从而加快多孔硅的生长过程,最终导致光致发光的光谱红移.多孔硅的厚度随预处理时间的增长而减小
半导体硅片的电化学研究(英文)
,林昌健
电化学 , 2000,
Abstract: 采用电化学直流极化和交流阻抗技术,在有光照和黑暗条件下分别研究了半导体硅片在稀释氢氟酸溶液中的电化学特性.两种电化学技术均对溶液中含有的微量铜(10-9wt%-浓度水平)非常敏感,但仅对溶液中的10-6wt%-浓度水平的非离子型表面活性剂敏感.结果表明,有光照条件下在硅/溶液界面上极易发生电化学反应,且该反应对硅表面性质起主导作用.
多孔硅的晶态结构与表征方法*
吕京美,
化学进展 , 2009,
Abstract: 多孔硅的生成过程涉及从完美硅单晶逐渐变为不完整晶体,甚至无定形结构,其结构变化取决于制备条件和硅基底的掺杂类型与浓度。多数研究者利用不同的非原位手段研究多孔硅生成过程中晶态结构的变化,进一步研究其光致发光性能。本文对不同条件下生成的多孔硅的晶态结构进行了归纳总结,比较了透射电子显微镜、X射线衍射技术及拉曼光谱技术3种表征方法的特点及其对晶态结构认识的影响,指出不同微观表征手段的局限性使得众多的报道结果相差较大。最后本文就该领域的发展态势和急需解决的问题进行了总结。
多孔与平面硅电极界面的电化学行为
Electrochemical Behavior of Porous and Flat Silicon Electrode Interfaces

吕京美,,()
- , 2016, DOI: 10.3866/PKU.WHXB201512242
Abstract: 研究了重掺杂n-型单晶硅(CSi)在氢氟酸体系中生成多孔硅(PSi)的电化学行为,根据线性极化曲线,选取不同的电流密度,采用恒电流阳极极化法,制备了一系列多孔硅层。利用扫描电子显微镜对其进行了表面和断面形貌的表征,通过线性扫描极化技术和计时电位法,比较了单晶硅电极和多孔硅电极的电化学行为,分析了多孔硅形成前后的塔菲尔曲线和计时电位曲线,给出了多孔硅形成过程中的重要电化学参数,如腐蚀电流、开路电位、塔菲尔斜率等。并对其进行深入分析,根据实验结果,提出了单晶硅电极/电解质界面和多孔硅电极/电解质界面的结构模型,并利用该模型讨论了两种电极界面的电化学特性。
The electrochemical responses of heavily doped n-type single-crystal silicon (CSi) during the formation of porous silicon (PSi) layers in hydrofluoric acid-based electrolytes were investigated. A series of PSi layers were fabricated by constantly applying different anodic current densities, which were selected according to the linear polarization curve. The surface and cross-sectional morphologies of the PSi layers were studied by scanning electron microscopy. The electrochemical behavior of CSi and PSi electrodes was compared by linear sweep polarization and chronopotentiometry techniques. The important parameters associated with the electrochemical reactions at the electrodes were evaluated by analyzing the Tafel plots and chronopotentiograms obtained before and after the PSi formation. Structural models of the CSi electrode/electrolyte and PSi electrode/ electrolyte interfaces were suggested based on the experimental data. Accordingly, the interfacial characteristics of CSi and PSi electrodes were discussed
直接提取指纹特征算法的优化研究
王芙蓉,,
中国图象图形学报 , 2004, DOI: 10.11834/jig.200405102
Abstract: 在对Maio与Maltoni于1997年提出的指纹特征灰度图直接提取算法进行分析的基础上,提出了一种改进的指纹特征提取算法,即在前景模板分割部分采用Canny算子和数学形态学相结合的方法;在终结点判定部分提出跟踪角度和灰度变化相结合的新方法;在滤波和去除伪节点等方面也进行了改进。实验证明,这些改进在很大程度上克服了原算法阈值过多,易提取出虚假脊线的问题。这样不仅使算法健壮性和准确性得到了很大的提高,而且更有利于实际应用。
钒替代对碳包覆硅酸铁锂复合材料结构的影响(英文)
杨洪,张颖,
电化学 , 2013, DOI: 10.13208/j.electrochem.130356
Abstract: 以廉价的硝酸铁为铁原料,通过溶胶凝胶和固相反应法制得碳包覆硅酸铁锂(Li2FeSiO4/C)正极材料,以偏钒酸铵(NH4VO3)为钒原料,按理论计算量5,10,15,20,25,30和50%制得钒替代Li2FeSiO4/C复合材料(Li2Fe1-xVxSiO4/C).结果表明,Li2FeSiO4/C(主相P21/n)结晶良好,基本无杂相,而Li2Fe1-xVxSiO4/C(主相P21/n)存在主要杂质偏硅酸锂和钒/铁氧化物.Li2FeSiO4/C和Li2Fe0.95V0.5SiO4/C电极C/16(室温)的首次放电比容量分别达160.9mAh·g-1和130.8mAh·g-1.钒替代量的增加,无定形碳的石墨化程度增强,碳包覆量却减少.钒替代量直接影响钒/铁氧化物的形成量,导致Li2Fe0.95V0.5SiO4/C电极电化学性能较差.
钛掺杂对LiNi_(0.75)Co_(0.25)O_2结构与性能的影响(英文)
贺慧,,张颖
电化学 , 2006,
Abstract: 应用溶胶-凝胶法合成LiNi(0.75-x)Co0.25TixO2(x=0,0.1,0.25)系列正极材料,其结构、形貌、粒度、电化学性能由TG、XRD、SEM和电池充放电测试表征研究表明,材料的电化学性能与钛掺杂量密切相关.在钴含量不变的情况下,随着Ti含量(x)的增加,材料由六方层状结构逐渐向立方结构转变,x=0.25时,出现了立方相与六方相共存.根据实验和理论计算结果简要讨论了钛掺杂对正极材料LiNi0.75Co0.25O2结构和电化学性能的影响.
天然有机物共存时生物活性炭对17β-雌二醇的去除
爱华,,李富生
环境工程学报 , 2012,
Abstract: 以17β-雌二醇(E2)为目标物,研究了在天然有机物共存的情况下,生物活性炭(BAC)小柱和粒状活性炭(GAC)小柱去除E2的效果。结果表明,BAC小柱和GAC小柱都可有效去除E2,运行600d后出水仍未检出E2。从纵向浓度分布来看,BAC小柱对E2的处理效果略好于GAC小柱。BAC小柱去除E2主要是通过活性炭吸附作用和生物降解作用。空床接触时间也会对E2的去除产生影响。在BAC小柱和GAC小柱中,NOM的去除率随时间延长而降低,E2的去除率始终保持在100%,由此可以推断E2和NOM在活性炭的不同位置进行吸附。
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