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Effects of C+ Implantation on Tribological Behavior of Three Metallic Thin Films on Silicon Dioxide Substrate
C^+注入对金属/SiO2体系摩擦学行为的影响

吕晋军,
摩擦学学报 , 2002,
Abstract: The effect of C implantation on the hardness, bonding strength at interface and tribological properties of Ti, Al, and Ag films on SiO 2 was investigated. Findings indicated that the hardness and the bonding strength at the interface were increased by C implantation and the tribological properties were improved accordingly. The improvement in the bonding strength at the interface was mainly attributed to the interfacial mixing. In other words, carbide eutectics were generated near the interface after C implantation of the metallic thin film/SiO 2 systems, subsequently the bonding strength of the film to the substrate was increased, and hence the wear-resistance of the thin films extended as well.
(Ca,Mg)―Sialon陶瓷在空气及水润滑条件下的磨损机理研究
张文光,
摩擦学学报 , 1998,
Abstract: 利用SRV球-盘磨损试验机考察了一种(Ca,Mg)-Sialon陶瓷在空气及水中的摩擦学性能,并采用EPMA,SEM,EDAX以及XPS等分析手段对其磨损机理做了进一步研究。结果表明:(Ca,Mg)-Sialon陶瓷在水中比在空气中具有更低的摩擦因数,但具有较高的磨损体积损失。
多孔质铝阳极氧化膜的结构及其摩擦学性能研究
,陈建敏
摩擦学学报 , 1996,
Abstract: 多也质铝阳极氧化膜具有质硬、耐磨和抗腐蚀等诸多优点,是目前广泛的工程材料之一,籽探讨这类的摩擦学性能与其结构摧在联系,利用透射电子显微镜以因硫酸和草酸是解液中生成的多孔质铝阳极氧化的结构进行了观察分析,产对其在干摩擦下的摩擦学性能作了考察,观察发现,在选定的制膜工艺条件下,分别于硫酸和草酸电解液中生成的铝阳极氧化膜具有多孔质结构,在阳极氧化膜的中有一层由致密的氧化物质组成的“障壁层”,摩擦试验结果
C^+注入对金属/SiO2体系摩擦学行为的影响
吕晋军,
摩擦学学报 , 2002,
Abstract: 考察了C注入对Ti、Al和Ag等3种金属/氧化物体系的硬度、膜基结合强度和摩擦学性能的影响.结果表明,C注入可以显著提高Ti、Al和Ag金属/氧化物的硬度和膜基结合强度,从而改善摩擦学性能.C注入使得Ti膜体相和界面处产生Ti-C固溶体,这是Ti膜耐磨寿命得以提高的主要原因
Ag掺杂ZnO体系中缺陷和电子转移对其高温摩擦学特性的影响研究
吕晋军,
摩擦学学报 , 2001,
Abstract: 考察了Ag/ZnO体系在退火处理后的物理和化学变化,并同其用作金属/陶瓷摩擦副润滑剂时的摩擦-温度特性进行了关联。结果表明:经200℃和400℃退火处理后,Ag和Zn的结合能值均发生较大的化学位移;而经100℃和300℃退火处理后Ag和Zn的化学状态无明显变化;当Ag掺杂ZnO粉末用作β-Sialon/高速多摩擦副润滑剂时,其摩擦-温度特性曲线在200℃和400℃均出现极小值,分析结果表明:Ag/ZnO体系中的缺陷和电子转移与其摩擦-温度特性密切相关。
相对湿度对类金刚石薄膜摩擦磨损性能的影响
王成兵,李红轩,
摩擦学学报 , 2005,
Abstract: 利用等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅表面制备了含氢类金刚石薄膜,在球-盘摩擦磨损试验机上考察了相对湿度对薄膜摩擦磨损性能的影响,利用扫描电子显微镜和X射线光电子能谱仪观察和分析其磨损表面形貌和化学状态的变化情况.结果表明,随着相对湿度增加,DLC薄膜的摩擦系数和磨损率增加.这主要是由于薄膜表面氧化作用所致.
单晶硅表面改性及其微观摩擦学性能研究进展
孙蓉,,薛群基
摩擦学学报 , 2004,
Abstract: 评述了单晶硅表面改性及其微观摩擦磨损性能研究现状和进展,就单晶硅微观机械性能和摩擦磨损性能、单晶硅表面沉积薄膜和氧化层的微观机械和摩擦学性能及硅材料表面离子注入和表面纳米化等相关研究进行了归纳总结;指出应当继续深化硅材料表面改性技术及改性层微观摩擦学性能的研究,特别是应当加强硅材料表面离子注入及表面纳米化的研究,从而满足MEMs/NEMs等高技术领域的应用和发展需要.
氮离子注入SiO2单晶磨损机理的SEM研究
,薛群基,田军
摩擦学学报 , 1999,
Abstract: 利用氮离子注入技术改善SiO2昌表面的摩擦磨损性能,并用扫描电子显微镜研究了离子注入前、后的SiO2单昌在干摩擦条件下与Si3N4球对摩时的磨损机理,研究结果表明,经过1*10^17N^+/剂量的氮离子注入后,SiO2单昌表面的耐磨性能比注入前提高了近4个数量级,氮离子注入使SiO2单晶表层形成SiO2微晶态与非晶态共存混合态结构,其具有良好的抗塑变和塑性剪切能力,从而使SiO2单晶的抗磨性能得到
亲油性硫化锰纳米微粒的化学制备和结构
马良,,张治军,赵家政
物理化学学报 , 1999,
Abstract: 采用表面修饰的方法,在醇水体系中制备了双十八烷基二硫代磷酸(ddp)表面修饰的硫化锰(mns)纳米微粒.用xps、ftir、tga、tem和hrem等技术对用表面修饰法得到的mns纳米微粒的结构、化学稳定性和热稳定性进行研究,结果表明:表面修饰得到的mns纳米微粒有较好的化学稳定性和热稳定性,并且微粒的分散件好、不团聚,制备出的mns纳米晶核具有γ-mns的晶型结构.
磁控溅射和脉冲直流化学气相沉积Ti-Si-N薄膜摩擦磨损性能对比研究
马青松,马胜利,可为,
摩擦学学报 , 2004,
Abstract: 分别利用磁控溅射和脉冲直流化学气相沉积(PCVD)技术制备了Ti-Si-N薄膜,测定了2种Ti-Si-N薄膜的显微硬度,并采用球一盘式高温摩擦磨损试验机对比考察了其高温摩擦磨损性能.结果表明,当薄膜中Si含量(原子分数)约为10%时,2种薄膜的显微硬度达到最大值;2种Ti-Si-N薄膜的耐磨性能同其硬度之间不存在对应关系,其中采用PCVD方法制备的Ti-Si-N薄膜的高温抗磨性能较优;2种薄膜在高温下的摩擦系数均有所降低,这归因子高温下氧化膜的润滑作用。
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