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溅射偏压对Cu膜屈服强度的影响
王飞,可为
自然科学进展 , 2003,
Abstract: 用高真空磁控溅射在Si片上沉积纯Cu膜,通过纳米压入实验得到薄膜硬度和弹性模量,模型和数值计算相结合得到薄膜屈服强度.结果表明溅射偏压对薄膜屈服强度影响较大,可以使薄膜在比较厚的情况下得到和数百纳米厚的薄膜相似的高屈服强度.其主要原因是溅射偏压改变了薄膜的晶粒取向和晶粒尺寸.
非晶含氢碳薄膜摩擦与抗擦伤性能的实验研究
黄立业,可为
摩擦学学报 , 2001,
Abstract: 用射频等离子体增强化学气相沉积法在钛合金表面制备了非晶含氢碳(a-C:H)薄膜,利用原小孩子显微镜、纳米力学探针、划痕仪以及滑动摩擦和微动摩擦试验仪器等研究了其表面形貌、粗糙度、硬度和摩擦性能,分析了薄膜的表面粗糙度、硬度及载荷对摩擦系数的影响。结果表明:随着薄膜厚度的增加,硬度略有提高,划痕临界载荷明显提高,而表面粗糙度先增加后降低,最后趋于稳定;室温空气中的滑动摩擦系数随硬度的增大以及表面粗糙度和载荷的减小而降低;在微动摩擦试验中,随相对湿度增加,摩擦系数降低,这有利于其在体液环境中的应用;薄膜具有良好的耐磨性能,经5000次摩擦后磨损很小。
非晶含氢碳薄膜摩擦与抗擦伤性能的实验研究
黄立业,可为
摩擦学学报 , 2001,
Abstract: 用射频等离子体增强化学气相沉积法在钛合金表面制备了非晶含氢碳(a-C:H)薄膜,利用原小孩子显微镜、纳米力学探针、划痕仪以及滑动摩擦和微动摩擦试验仪器等研究了其表面形貌、粗糙度、硬度和摩擦性能,分析了薄膜的表面粗糙度、硬度及载荷对摩擦系数的影响。结果表明:随着薄膜厚度的增加,硬度略有提高,划痕临界载荷明显提高,而表面粗糙度先增加后降低,最后趋于稳定;室温空气中的滑动摩擦系数随硬度的增大以及表面粗糙度和载荷的减小而降低;在微动摩擦试验中,随相对湿度增加,摩擦系数降低,这有利于其在体液环境中的应用;薄膜具有良好的耐磨性能,经5000次摩擦后磨损很小。
磁控溅射Cu膜表面演化的多尺度行为
杨吉军,可为
金属学报 , 2007,
Abstract: 用原子力显微镜(AFM)观察磁控溅射Cu膜的表面形貌,并基于功率谱密度(PSD)和粗糙度测量方法对薄膜进行了量化表征,研究了薄膜表面演化的动力学标度行为.结果表明薄膜表面演化具有多尺度特征,在全域和局域呈现两种不同的标度行为.全域的粗糙度指数αg≈0.83,生长指数βg≈0.85;而局域的粗糙度指数αl≈0.88,生长指数βl≈0.26.这种差异揭示了薄膜生长机制的尺度依赖性.薄膜全域表面演化为异常标度行为,这归因于体扩散导致了晶粒几何形态的急剧变化;而局域表面演化呈现表面扩散控制的生长行为.
加载速率对Al膜纳米压入蠕变性能的影响
王飞,可为
金属学报 , 2004,
Abstract: 纳米压入仪对Si片上多晶Al膜进行的压入蠕变实验表明,加载方式对Al膜的蠕变性能有明显影响.随加载速率和载荷的增大,Al膜的总蠕变量和应力指数均有较大升高.且蠕变初期可能存在异常高蠕变率.分析认为这与是加载过程中未及发生的塑性变形的持续释放有关.对于确定的薄膜材料及组织结构,加载过程中积攒的塑性变形量及其释放速率将影响不同加载条件下的总蠕变量和应力指数.
晶粒尺寸与保载载荷对Cu膜纳米压入蠕变性能的影响
王飞,可为
金属学报 , 2004,
Abstract: 利用纳米压入仪对Si片上的多晶Cu膜进行压入蠕变研究。实验结果显示晶粒尺寸大于200nm时,应力指数对晶粒尺寸不敏感。当晶粒尺寸小于200nm时,因压头底部更多的晶粒参与变形,应力指数随晶粒尺寸的降低而增大.认为薄膜材料存在一个对应力指数不敏感的最小临界晶粒尺寸lc。Cu膜的应力指数随保载载荷增大而增大,其主要原因在于高载荷下位错强化机制使蠕变率降低。
针状缺钙羟基磷灰石涂层的烧结特征及磷酸氢钙相的影响
憨勇,可为
硅酸盐学报 , 1998,
Abstract:
纳米针状羟基磷灰石涂层的制备及其性能的研究
黄立业,可为
硅酸盐学报 , 1999,
Abstract:
富含钙磷的多孔氧化钛膜及其生物活化机理
黄平,可为,憨勇
硅酸盐学报 , 2004,
Abstract:
钙、磷在钛表面微弧氧化层中的存在形式及进入机制
黄平,可为,憨勇
硅酸盐学报 , 2004,
Abstract:
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