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1064,532和680nm波长的反射-吸收复合型防护膜的研制

, PP. 0-0

Keywords: 激光防护,反射膜,氧化硅,氧化锆,酞菁

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?针对1064,532和680nm波长激光,以聚碳酸酯(pc)为镀膜基底,钕玻璃激光中心波长为1064nm,采用六分之一加三分之一膜系的反射膜系设计,以氧化锆为高折射率膜层材料,氯化酞菁铝掺杂的氧化硅为低折射率膜层材料,通过溶胶-凝胶法镀21层膜,并在多层反射膜与pc基底之间插入张力匹配层,实现了钕玻璃激光器1064nm主频和532nm二倍频波长激光的反射,以及680nm波长红宝石激光的同时吸收,1064,532和680nm波长处的透射率分别为1.67%,18.24%和2.4%。

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