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1064nm、532nm、355nm波长脉冲激光辐照多晶硅损伤特性研究

, PP. 461-465

Keywords: 波长,多晶硅,损伤阈值,微结构

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Abstract:

为系统研究不同波长激光与多晶硅材料的相互作用,采用1064nm、532nm、355nm波长单脉冲激光对多晶硅进行辐照实验,研究多晶硅在这三种波长激光下的损伤形态。实验结果表明:在其他参数不变的情况下,损伤阈值随激光波长的减小而变小,且与波长呈线性关系;在低能量密度水平下,355nm激光与物质作用主要是以光化学模型为主的光化学-光热共同作用方式,其他波长为光热模型;在激光能量密度处于低水平时,辐照区域出现相互连接的规则六边形微结构,并且六边形中心呈现圆形凸起状态,其产生是由液体横向流动的波动本质造成的,并与多晶硅表面的粗糙度有关。

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