All Title Author
Keywords Abstract


汽相沉积薄膜过程的计算机模拟

Keywords: 汽相沉积,薄膜,计算机模拟

Full-Text   Cite this paper   Add to My Lib

Abstract:

利用计算机模拟给出汽相沉积薄膜的过程,计算出不同模型下的薄膜微观结构,并对薄膜微观结构特征进行了讨论

Full-Text

comments powered by Disqus